气体流量计校准方法

东莞全芯教你如何进行气体流量计校准，请看以下方法，如果您决定需要校准 MFC，请按照下面的校准说明进行操作或致电 TA Instruments 寻求服务。需要外部高精度流量计来校准氮气和氦气。（可能需要两个单独的流量计，一个针对氮气校准，另一个针对氦气校准。）

要校准质量流量控制器，请按照氮气表 或氦气表的这些说明进行操作。更多流量计维修校准咨询13790663326，以下方法对mks流量计，brooks流量计，horiba流量计，litec流量计，bronkhorst流量计都有效

注意：请确保您使用与校准系统相同的气体进行实验。例如，如果您使用氮气进行校准，请使用氮气进行运行。

校准 MFC 氮表

此表用于输入氮气的校准值。

1.选择校准/质量流量控制器。单击氮表选项卡。

2.单击重置按钮将观察到的值设置为零。Requested Flow和Measured Flow值将显示推荐的校准流量。如果需要，可以更改这些值。

3.单击“确定”关闭此窗口。

4.将高精度外部流量计与氮气一起连接到气体 1 端口。

5.选择工具/仪器首选项/MFC 页面，然后选择氮气作为气体 1 吹扫气体。

6.访问 “预定”运行的注释页面，并从下拉列表中为示例选择#1氮气。单击应用。

7.输入 Sample Flow Rate 10.0 mL /min，然后点击Apply。

8.观察外部流量计上的测量流量。等到流速稳定并记录该值。

9.重复步骤 7 和 8，直到获得所有校准值，将流量值更改为采样流量。（典型的校准流速为 10、50、100、150 和 190 mL/min。）

10.选择校准/质量流量控制器。单击氮表选项卡。

11.输入 获得的请求流量 和测量流量 校准值。单击确定。

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校准 MFC 氦气工作台

此表用于输入氦气的校准值。

1.选择校准/质量流量控制器。单击氦表选项 卡。

2.单击重置按钮将观察到的值设置为零。Requested Flow和Measured Flow值将显示推荐的校准流量。如果需要，可以更改这些值。

3.单击“确定”关闭此窗口。

4.将高精度外部流量计连同氦气连接到气体 1 端口。

5.选择Tools/Instrument Preferences/MFC Page，然后选择 Helium 作为 Gas 1 purge gas。

6.访问 “预定”运行的注释页面并从下拉列表中选择#1 Helium 作为样品。单击应用。

7.输入 Sample Flow Rate 10.0 mL /min，然后点击Apply。

8.观察外部流量计上的测量流量。等到流速稳定并记录该值。

9.重复步骤 7 和 8，直到获得所有校准值，更改Sample Flow Rate的流量值。（典型的校准流速为 10、50、100、150 和 190 mL/min。）

10.选择校准/质量流量控制器。单击氦表选项 卡。

11.输入 获得的请求流量 和测量流量 校准值。单击确定。

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