MKS 902B真空规维修常见问题

东莞全芯mks真空规售后维修电话13790663326，以下是MKS 902B真空规常见问题解答

应用

Q： 换能器和传感器元件能否持续承受来自机械前置泵的振动。

A： 是的–MEMS MicroPirani传感器元件可以承受连续振动。

Q： 转换器与氟气兼容吗？

A： 否–901P不适用于半导体蚀刻等侵蚀性环境。

Q： 当传感器被向下泵送并通过关闭阀门进行隔离时，压力会升高。是

传感器泄漏？

A： 不太可能——当密闭空间被排空并停止泵送时，压力会上升，因为

主要通过水蒸气排出气体。随着时间的推移，压力很容易上升到几托。

Q： 当在氦气泄漏检测器上对传感器进行泄漏检查时，泄漏读数在

大约30秒。传感器是否泄漏？

A： 否-901P换能器的内部密封使用弹性体氟橡胶密封，因此使用氦气

分子可以渗透通过氟橡胶材料，并导致氦气泄漏读数缓慢增加。如果发生泄漏

换能器直接在氦气泄漏检测器上进行测试，泄漏几乎立即显示出来。

Q： 传感器可以安装在任何方向吗？

A： 是-传感器可以安装在任何方向，而不会影响性能或校准。

但是，建议不要安装法兰端口朝上的变送器，以避免

微粒或液体等污染物进入设备。参见第8页。

Q： 换能器能承受瞬间通风吗？

A： 是的-MicroPirani和Piezo传感器元件对机械力非常坚固，可以

承受连续的压力循环和即时的空气通风。

Q： 我可以连接一个由传感器继电器触点控制的阀门吗？

A： 驱动感应负载（如阀门）需要采取特殊预防措施。参见第15页。

Q： 换能器能承受多少次压力循环？

A： MicroPirani和Piezo传感器元件对压力变化都很稳定，并且对

压力循环次数。设定值继电器触点耐久性至少为2000000次循环

30VDC/0.2A负载。

模拟输出

Q： 模拟输出的更新率是多少？

A： 每秒16次。

Q： 模拟输出电缆的**长度是多少？

A： 模拟电缆的长度取决于电缆质量和电噪声环境，但电缆长度可达

除了必须屏蔽电缆外，100米通常不需要任何特殊预防措施。

Q： 数字读数正确，但模拟输出读数与实际压力有一些偏差？

A： 检查模拟输出是否连接到浮动输入，而不是连接到接地的输入。如果

连接的模拟输出回路接地，电源电流将在信号线中流动，并导致

电压降和接地回路。

Q： 我能得到差分压电信号的模拟输出吗？（在EtherCAT设备上不可用）

A： 是–模拟输出可以配置为任何传感器信号。参考模拟输出设置。

双模拟输出是一种硬件选项。请参阅第5页的零件号。

数字输出

Q： 通过数字接口请求压力测量的速度有多快？

A： 每秒10次是建议的最快压力请求频率。

Q： 从接通电源到有效测量值的等待时间是多长？（不适用于EtherCAT

单位）

A： 通电顺序大约为2秒钟。通电期间，状态指示灯将点亮红色

序列和数字接口将不会回复命令。在EtherCAT设备上，当

可以读取压力。

Q： 转换器数字通信应答中的**个字符有时会丢失？

A： 这可能是由于传感器通信回复过快造成的。参见RS延迟命令描述，

从第15页开始。

Q： 是否有必要使用RS-485通信设备和转换器之间的接地线？

A： 是-RS-232和RS-485通信都需要在传感器和

通信设备。

测量、校准和调整

Q： 换能器需要多久校准一次或调零一次？

A： 这取决于应用和压力范围，但在许多应用中从不需要用户调整。

可以暂时或**地影响测量性能的因素是污染、腐蚀、腐蚀等，

热量和电子干扰。

Q： 从传感器获得可靠测量值之前的预热时间是多长？

A： 传感器元件的小质量确保了传感器预热时间短。可靠的测量是

通常在1分钟内可用。

Q： 电源关闭后，传感器是否会保留用户校准？

A： 是-包括校准数据在内的所有传感器参数都存储在非易失性传感器内部

记忆力

Q： 901P PR1（MicroPirani）在760托的大气压下读取900托？

A： 传感器基于热导率的测量，如果暴露在环境压力下

空气的较高导热率将导致换能器读取较高的值。传感器按工厂提供

默认使用氮气校准。

Q： 当暴露在大气压力下时，组合PR3不会随大气压力改变其读数

压力变化。为什么？

A： PR3绝对读数基于相对于大气测量的压差。输出

每当换能器被抽空到1.2托绝对压力以下时，都会自动校准。

如果传感器未抽空至1.2托以下的压力，则大气压力下的绝对读数将

不随气压变化而变化。

Q： 901P能否提供独立于气压变化的大气开关功能？

A： 是的，压电差动传感器测量的是相对于大气压的压力，因此

压电设置点值将总是在相对于环境压力的值处触发。

服务和维修

Q： 如果传感器元件受到污染，可以更换吗？

A： 否-如果没有测量电子设备，传感器元件就无法随变化而变化。转换器

法兰组件可以与901P维修套件互换。请参阅第57页的维修和保养。

Q： +24 VDC电源电压已连接到模拟输出+。传感器是否损坏？

A： 很可能-模拟输出没有受到保护，不会向输出引脚供电。

Q： 反向电压已连接到电源输入。传感器是否损坏？

A： 不太可能——但是，转换器电源电路具有反向电压和过电压保护。

MKS不能保证传感器不会被损坏。

Q： 状态指示灯持续亮起红色？（不适用于EtherCAT单元；请参阅EtherCAT

通信协议手册20003335）

A： 红色状态表示MicroPirani传感器元件存在缺陷，很可能因腐蚀或

污染如果电子设备出现故障，也可能发生这种情况。请参阅第57页的维修和保养。